[发明专利]薄背面玻璃互连件有效
| 申请号： | 201280058366.3 | 申请日： | 2012-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN103958395A | 公开（公告）日： | 2014-07-30 |
| 发明（设计）人： | 拉温德拉·V·社诺伊 | 申请（专利权）人： | 高通MEMS科技公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 宋献涛 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供用于提供经封装微机电系统MEMS装置的系统、方法及设备。在一个方面中，封装可包含连结到装置衬底的防护玻璃罩，所述防护玻璃罩包含集成式电连接且经配置以囊封所述装置衬底上的一或多个MEMS装置。所述防护玻璃罩可包含一或多个旋涂玻璃层以及导电布线及互连件。所述封装可包含环绕所述一或多个经囊封MEMS装置的窄密封件。 | ||
| 搜索关键词： | 背面 玻璃 互连 | ||
【主权项】：
一种设备，其包括：盖玻璃，其包含一或多个旋涂玻璃层且具有第一及第二对置侧，所述盖玻璃进一步包含：腔，连结环，其环绕所述腔，一或多个布线，其在所述第一侧上，及一或多个柱，其延伸穿过所述一或多个旋涂玻璃层以将所述第一侧上的所述一或多个布线电连接到所述第二侧。
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