[发明专利]抛光垫以及使用该抛光垫的玻璃基板的制造方法有效
| 申请号： | 201280058660.4 | 申请日： | 2012-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN104039506A | 公开（公告）日： | 2014-09-10 |
| 发明（设计）人： | 小松隆史 | 申请（专利权）人： | HOYA株式会社 |
| 主分类号： | B24B37/26 | 分类号： | B24B37/26;B24B1/00;B24B7/24;B24B37/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种在玻璃基板的镜面抛光工序中使用的抛光垫，该抛光垫的特征是：在与玻璃基板接触的主表面具有多个开口坑，一开口坑和与该开口坑相邻的其它开口坑被分隔壁隔开，在该分隔壁的侧面中的所述其它开口坑侧的侧面设置有倾斜部，该倾斜部具有20～100μm的最小曲率半径。根据该抛光垫，能够提供既维持镜面抛光工序中的加工率又难以使抛光液成分蓄积在开口坑的抛光垫等。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 以及 使用 玻璃 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种抛光垫，在玻璃基板的镜面抛光工序中使用，其特征在于：该抛光垫在与玻璃基板接触的主表面具有多个开口坑，一开口坑和与该开口坑相邻的其它开口坑被分隔壁隔开，在该分隔壁的侧面中的所述其它开口坑侧的侧面设置有倾斜部，该倾斜部具有20～100μm的最小曲率半径。
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