[发明专利]无机材料、制作其的方法和装置、及其使用无效
| 申请号： | 201280058733.X | 申请日： | 2012-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN104040675A | 公开（公告）日： | 2014-09-10 |
| 发明（设计）人： | D.布罗尔斯;R.E.德马雷;D.斯卢茨 | 申请（专利权）人： | 氮化物处理股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01J37/317;H01J27/02;C23C14/32;C23C16/452 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 马丽娜;陈岚 |
| 地址： | 美国堪*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 公开了用于产生例如氮化物之类的材料的PVD和HPHT方法和装置。 | ||
| 搜索关键词： | 无机 材料 制作 方法 装置 及其 使用 | ||
【主权项】：
一种离子束发生器，包括a) 第一室，容纳一个或多个蒸汽发生器，所述蒸汽发生器能够由一个或多个凝聚相材料源形成蒸汽；b) 邻接第一室的第二室，容纳一个或多个等离子体发生器，所述等离子体发生器包括： 一个或多个阴极，具有通过其延伸的一个或多个开端通道，所述通道包括一个或多个通道壁并且具有从通道的一端延伸到通道另一端的长度以限定一个或多个空间，并且能够在所述一个或多个空间内形成等离子体；c) 在第一和第二室之间的一个或多个孔，被布置为允许在第一室中生成的蒸汽进入第二室，一个或多个蒸汽发生器和一个或多个等离子体发生器由此被布置为在操作中：由一个或多个蒸汽发生器生成的蒸汽可以通过由一个或多个等离子体发生器形成的等离子体横跨一个或多个空间。
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