[发明专利]以硬质材料覆层的，由金属、硬质金属、金属陶瓷或陶瓷制成的体以及制造这种体的方法

摘要

本发明的主题是一种以硬质材料覆层的，由金属、硬质金属、金属陶瓷或陶瓷制成的体，其以TiSiCN复合材料层或含有至少一个TiSiCN复合材料层的多层层体系覆层，其中，根据本发明，TiSiCN复合材料层是借助热化学气相沉积方法而不附加等离子体激发地制造的纳米复合材料层，其含有由带有在5nm和150nm之间的微晶尺寸的TiCxN1_‑x组成的纳米晶相以及由非晶的SiC_xN_y组成的第二相。根据本发明的层的突出之处在于高硬度、高氧化耐受性和温度耐受性以及高粘附性。为了制造这种TiSiCN纳米复合材料层，本发明包含一种方法，其中，该层在含有一种或多种卤化钛、一种或多种含硅前体、氢、以及带有碳原子和氮原子的反应性化合物和/或氮化合物和/或碳氢化合物和/或惰性气体的气体混合物中通过热化学气相沉积工艺在700℃和1100℃之间的温度并且在10Pa和101.3kPa之间的压力下不附加等离子体激发地沉积，其中，卤化钛和含硅前体的摩尔比例选择为，使得在气体混合物中Si与Ti的原子比例大于1。根据本发明的方法使得在工业条件下也能够成本低廉地生产这种类型的覆层。

主权项

一种以硬质材料覆层的体，所述体由金属、硬质金属、金属陶瓷或陶瓷制成，所述体以TiSiCN复合材料层或含有至少一个TiSiCN复合材料层的多层层体系覆层，其特征在于，所述TiSiCN复合材料层是借助热化学气相沉积方法而不附加等离子体激发地制造的纳米复合材料层，其具有小于1原子％的卤素含量以及小于4原子％的氧含量，所述纳米复合材料层含有由带有在5nm和150nm之间的微晶尺寸的TiC_xN_1‑x组成的纳米晶相，其中0.1≤x≤0.99，以及由非晶的SiC_xN_y组成的第二相。