[发明专利]固体氧化物的加工方法及其装置有效
| 申请号： | 201280060235.9 | 申请日： | 2012-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN104023889A | 公开（公告）日： | 2014-09-03 |
| 发明（设计）人： | 山内和人 | 申请（专利权）人： | 国立大学法人大阪大学 |
| 主分类号： | B23H3/04 | 分类号： | B23H3/04;B23H3/00;C25F3/00 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够不使用一切以稀土为主的研磨剂、研磨颗粒，并且不使用一切氟化氢等操作困难、环境负担大的溶液，对光学玻璃材料等固体氧化物可以不导入加工变质层而进行加工的固体氧化物的加工方法及其装置。在水(1)的存在下，以通过氧结合了1种或2种以上的元素的固体氧化物作为被加工物，作为加工基准面(3)使用帮助水分子解离、切断构成固体氧化物的氧元素与其它元素的反向键并吸附、通过水解生成分解产物的催化剂物质，在水的存在下，使被加工物(5)与加工基准面接触或配置得非常接近，使加工基准面的电位为不产生H2和O2的范围，使被加工物与加工基准面相对运动，从被加工物表面除去分解产物。 | ||
| 搜索关键词： | 固体 氧化物 加工 方法 及其 装置 | ||
【主权项】：
一种固体氧化物的加工方法，以通过氧结合了1种或2种以上的元素的固体氧化物或者包括多种氧化物的多成分体系的固体氧化物作为被加工物，将该被加工物的表面平坦化加工或者加工为任意曲面，该加工方法的特征在于：作为加工基准面使用催化剂物质，其中，该催化剂物质帮助水分子解离、切断构成固体氧化物的氧元素与其它元素的反向键并吸附、通过水解生成分解产物，在水的存在下，使所述被加工物与加工基准面接触或配置得非常接近，使所述加工基准面的电位为包括自然电位的不产生H2和O2的范围，使所述被加工物与加工基准面相对运动，从被加工物表面除去所述分解产物。
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