[发明专利]感光性树脂组合物、固化浮雕图案的制造方法、半导体装置及显示体装置

摘要

本发明提供含有(A‑1)具有下述通式(1)所示结构的树脂和(B)光产酸剂的感光性树脂组合物。[式(1)中，X、R₁～R₇、m₁～m₄、n₁、n₂、Y和W分别如说明书中所规定]

主权项

1.一种感光性树脂组合物，其含有(A‑1)具有下述通式(1)所示结构的树脂和(B)光产酸剂，式(1)中，X各自独立地是选自由氢原子、碳原子数为2～20的烷氧基羰基、碳原子数为2～20的烷氧基羰基甲基、碳原子数为2～20的烷氧基烷基、被至少一个碳原子数为1～10的烷基取代的甲硅烷基、四氢吡喃基、和四氢呋喃基组成的组中的一价基团，m₁各自独立地是1～3的整数，m₂各自独立地是0～2的整数，2≤(m₁+m₂)≤4，m₃和m₄各自独立地是0～4的整数，n₁和n₂各自独立地是1～500的整数，n₁/(n₁+n₂)在m₁是1～3时为0.35～0.95，R₁各自独立地是选自由碳原子数为1～10的烃基、碳原子数为1～10的烷氧基、硝基、氰基、和下述通式(5)或(6)所示的基团组成的组中的一价基团，m₂是2时，多个R₁可以分别相同或不同，R₂～R₅各自独立地是氢原子、或者碳原子数为1～10的一价脂肪族基团，R₆和R₇各自独立地是一价有机基团，m₃是2～4的整数时，多个R₆可以分别相同或不同，m₄是2～4的整数时，多个R₇可以分别相同或不同，Y是下述通式(3)或(4)所示的二价有机基团，W是选自由单键、碳原子数为1～10的链状脂肪族基团、碳原子数为3～20的脂环式基团、重复单元数1～20的亚烷基氧基、和下述通式(2)所示的基团组成的组中的二价基团，并且聚合物的结构可以为无规或嵌段，‑CR₈R₉‑     (3)式(3)中，R₈和R₉各自独立地是氢原子或碳原子数为1～11的一价有机基团或者含有羧基、磺酸基和酚性羟基的基团，式(4)中，R₁₁～R₁₄各自独立地是氢原子、或者碳原子数为1～10的一价脂肪族基团，m₅是1～4的整数，m₅是1时，R₁₀是羟基、羧基、或磺酸基，而m₅是2～4的整数时，至少一个R₁₀是羟基，剩余的R₁₀是一价有机基团，并且全部R₁₀可以相同或不同，式(5)中，R₁₅是选自由羟基、碳原子数为1～12的脂肪族基团、碳原子数为3～12的脂环式基团、碳原子数为6～18的芳香族基团、‑NH₂、‑NH‑R₁₉、‑N(R₁₉)₂、和‑O‑R₁₉所示的基团组成的组中的一价基团，其中，R₁₉是选自碳原子数为1～12的脂肪族基团、碳原子数为3～12的脂环式基团、或碳原子数为6～18的芳香族基团中的一价基团，式(6)中，R₁₆和R₁₇’各自独立地是选自由氢原子、碳原子数为1～12的脂肪族基团、碳原子数为3～12的脂环式基团、和碳原子数为6～18的芳香族基团组成的组中的一价基团，并且可以由R₁₆和R₁₇’形成环。