[发明专利]在工件处理期间的电荷中和化的装置及其方法无效

专利信息
申请号: 201280060457.0 申请日: 2012-11-19
公开(公告)号: CN103975092A 公开(公告)日: 2014-08-06
发明(设计)人: 彼得·F·库鲁尼西;克里斯多夫·J·里维特;丹尼尔·迪斯塔苏;提摩太·J·米勒 申请(专利权)人: 瓦里安半导体设备公司
主分类号: C23C14/48 分类号: C23C14/48;H01J37/32;G21K1/14
代理公司: 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 代理人: 臧建明
地址: 美国麻萨诸塞*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 一种处理系统(10)可包含:等离子体源(12),其用于提供等离子体;以及工件固持器(28),其经布置以接收来自所述等离子体的离子。所述处理系统可还包含脉冲偏压电路(42),所述脉冲偏压电路电耦合到所述等离子体源且可操作以将供应到所述等离子体源的偏压电压在高电压状态与低电压状态之间切换,在所述高电压状态中,所述等离子体源相对于接地处于正偏压,且在所述低电压状态中,所述等离子体源相对于所述接地处于负偏压。
搜索关键词: 工件 处理 期间 电荷 中和 装置 及其 方法
【主权项】:
一种处理系统,其包括:等离子体源,其用于提供等离子体,工件固持器,其经布置以接收来自所述等离子体的离子;以及脉冲偏压电路,其电耦合到所述等离子体源,所述脉冲偏压电路可操作以将供应到所述等离子体源的偏压电压在高电压状态与低电压状态之间切换,在所述高电压状态中,所述等离子体源相对于接地处于正偏压,且在所述低电压状态中,所述等离子体源相对于所述接地处于负偏压。
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