[发明专利]集成亚波长光栅系统

摘要

一种集成光栅元件系统包括形成于光电子基板层上的第一透明层，该光电子基板层包括至少两个光电子组件；布置在该第一透明层上的第一光栅层，该第一光栅层包括形成于该第一光栅层中的、与光电子组件的有效区对准的至少两个亚波长光栅元件；以及第二光栅层，与该第一光栅层相隔一段距离，使得光在形成于该第二光栅层内的衍射光栅元件与至少两个亚波长光栅元件之间传播。

主权项

一种集成光栅元件系统，包括：形成于光电子基板层上的第一透明层，所述光电子基板层包括至少两个光电子组件；布置于所述第一透明层上且具有比所述第一透明层高的折射率的第一光栅层，所述光栅层包括形成于所述光栅层中的、与所述光电子组件的有效区对准的至少两个亚波长光栅元件，其中所述至少两个亚波长光栅元件的栅格常数小于穿过所述亚波长光栅元件的光的波长；以及第二光栅层，与所述第一光栅层相隔一段距离，使得光从形成于所述第二光栅层内的衍射光栅元件传播至所述至少两个亚波长光栅元件或从所述至少两个亚波长光栅元件传播至所述衍射光栅元件。