[发明专利]具有高热稳定性的改进的太阳能选择性涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 201280061780.X | 申请日： | 2012-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN103998643A | 公开（公告）日： | 2014-08-20 |
| 发明（设计）人： | H·C·巴希利亚 | 申请（专利权）人： | 科学与工业研究委员会 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/06;C23C14/34;C23C14/35;C23C14/58;F24J2/48;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 陈文平 |
| 地址： | 印度*** | 国省代码： | 印度;IN |
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| 摘要： | 本发明描述了一种用于太阳能热力发电的改进的多层太阳能选择性涂层。本发明的太阳能选择性涂层主要由Ti/铬间层、两个吸收剂层(AlTiN和AlTiON)和抗反射层(AlTiO)组成。涂层沉积方法将Ti和Al用作源材料，其可大量得到并且易于制造为用于工业应用的溅射靶。本发明允许所有层在单一溅射室中在平面和管状基材上以高吸收率和低发射率沉积，从而使本方法更简单并更经济。本发明的方法可以容易地放大用于在更长的管上进行具有良好均匀性和重现性的沉积。本发明的涂层还表现出改善的粘附性、紫外稳定性、耐腐蚀性和在极端条件下的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 高热 稳定性 改进 太阳能 选择性 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种具有高热稳定性的改进的太阳能选择性涂层，其包含串联堆叠的层，所述堆叠的层由钛(Ti)/铬间层及包含氮化铝‑钛(AlTiN)的第一吸收剂层、包含氮氧化铝‑钛(AlTiON)的第二吸收剂层和包含氧化铝‑钛(AlTiO)的第三抗反射层组成，在100‑350℃范围的基材温度下用四阴极反应性脉冲直流非平衡磁控溅射技术使所述第二吸收剂层沉积于所述第一吸收剂层上和使所述第三抗反射层沉积于所述第二吸收剂层上。
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