[发明专利]发光二极管及其制造方法

摘要

本发明提供一种保护膜及在其上方形成的电极膜以均匀膜厚形成、并且光取出效率高的发光二极管及其制造方法。这样的发光二极管，在其上部具备平坦部和具有倾斜侧面及顶面的台面型结构部，倾斜侧面采用湿式蚀刻形成，保护膜具有配置在俯视为周缘区域的内侧且光射出孔的周围而使化合物半导体层的表面的一部分露出的通电窗，电极膜是形成为与从通电窗露出来的化合物半导体层的表面相接触，并且覆盖在平坦部上形成的保护膜的一部分，在顶面上具有光射出孔的连续膜，透明膜形成在反射层与化合物半导体层之间，在透明膜内、与光射出孔重叠的范围内贯穿地设有贯通电极。

主权项

一种发光二极管，是在支持基板上依次具备包含金属的反射层、透明膜、和依次包含活性层和接触层的化合物半导体层，从光射出孔向外部射出光的发光二极管，其特征在于，在其上部具备平坦部和具有倾斜侧面及顶面的台面型结构部，所述平坦部和所述台面型结构部，分别至少一部分被保护膜、电极膜依次覆盖，所述台面型结构部包含至少所述活性层的一部分，所述倾斜侧面采用湿式蚀刻形成，并且水平方向的截面积朝向所述顶面连续变小地形成，所述保护膜覆盖所述平坦部的至少一部分、所述台面型结构部的所述倾斜侧面、和所述台面型结构部的所述顶面的周缘区域，并且具有配置在俯视为所述周缘区域的内侧且所述光射出孔的周围而使所述化合物半导体层的表面的一部分露出的通电窗，所述电极膜是形成为与从所述通电窗露出来的化合物半导体层的表面直接接触，并且至少覆盖在所述平坦部上形成的保护膜的一部分，在所述台面型结构部的顶面上具有所述光射出孔的连续膜，所述透明膜形成在所述反射层与所述化合物半导体层之间，在所述透明膜内、俯视下与所述光射出孔重叠的范围内以与所述化合物半导体层及所述反射层相接触的方式贯穿地设有贯通电极。