[发明专利]用于在非刚性待测样本上进行泄漏检测的方法有效
| 申请号： | 201280062495.X | 申请日： | 2012-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN103998910B | 公开（公告）日： | 2018-01-16 |
| 发明（设计）人： | 丹尼尔·瓦特兹哥;西尔维奥·德克尔 | 申请（专利权）人： | 英福康有限责任公司 |
| 主分类号： | G01M3/32 | 分类号： | G01M3/32;G01M3/36 |
| 代理公司： | 深圳中一专利商标事务所44237 | 代理人： | 张全文 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种简化的用于在非刚性待测样本上进行泄漏检测的方法，所述方法包括步骤将所述待测样本(12)放置到一薄膜腔(10)中；降低所述待测样本(12)外部所述薄膜腔(10)中的压力，以及基于所述薄膜腔(10)的薄膜(14，16)的空间变化，对所述待测样本的泄漏进行检测。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 刚性 样本 进行 泄漏 检测 方法 | ||
【主权项】：
一种在非刚性待测样本上进行泄漏检测的方法，包括步骤：将所述待测样本放置到一薄膜腔中；降低所述待测样本外部所述薄膜腔中的压力，使所述薄膜腔的薄膜依附在所述待测样本上；观测所述薄膜腔的薄膜；检测所述薄膜腔的薄膜的空间变化；以及基于所述薄膜腔的薄膜的空间变化，对所述待测样本的泄漏进行检测；其中，依附在所述待测样本上的所述薄膜的空间变化被理解为泄漏的标识。
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