[发明专利]光固化性组合物和图案化方法有效
申请号: | 201280062769.5 | 申请日: | 2012-11-26 |
公开(公告)号: | CN104039836A | 公开(公告)日: | 2014-09-10 |
发明(设计)人: | 松藤奈央子;伊藤俊树;川端香奈江 | 申请(专利权)人: | 佳能株式会社 |
主分类号: | C08F2/50 | 分类号: | C08F2/50;H01L21/027;C07C271/12;C07C271/24 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 李英 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: |
本发明提供具有高聚合速率和高聚合转化率的光固化性组合物。还提供具有高产量的图案化方法。光固化性组合物含有自由基聚合性单体(A)、光聚合引发剂(B)和用作增感剂并且具有下述通式(1)的化合物(C)。 |
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搜索关键词: | 光固化 组合 图案 方法 | ||
【主权项】:
光固化性组合物,包括:自由基聚合性单体(A);光聚合引发剂(B);和用作增感剂并且具有下述通式(1)的化合物(C):
其中X1和X2独立地选自由氢原子、取代和未取代的烷基以及取代和未取代的芳基组成的组,R1‑R10独立地选自由氢原子、卤素原子、取代和未取代的烷基、取代和未取代的烃氧基以及取代和未取代的芳基组成的组,X1和X2可结合在一起以形成环。
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