[发明专利]光固化性组合物和图案化方法有效

专利信息
申请号: 201280062769.5 申请日: 2012-11-26
公开(公告)号: CN104039836A 公开(公告)日: 2014-09-10
发明(设计)人: 松藤奈央子;伊藤俊树;川端香奈江 申请(专利权)人: 佳能株式会社
主分类号: C08F2/50 分类号: C08F2/50;H01L21/027;C07C271/12;C07C271/24
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 代理人: 李英
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供具有高聚合速率和高聚合转化率的光固化性组合物。还提供具有高产量的图案化方法。光固化性组合物含有自由基聚合性单体(A)、光聚合引发剂(B)和用作增感剂并且具有下述通式(1)的化合物(C)。X1和X2选自由氢原子、烷基、苯基、萘基、和其中部分或全部氢原子被氟取代的烷基组成的组。X1和X2可相同或不同。R1-R10独立地选自由氢原子、卤素原子、烷基、烃氧基、苯基、萘基和其中部分或全部氢原子被氟取代的烷基组成的组。R1-R10可相同或不同。
搜索关键词: 光固化 组合 图案 方法
【主权项】:
光固化性组合物,包括:自由基聚合性单体(A);光聚合引发剂(B);和用作增感剂并且具有下述通式(1)的化合物(C):其中X1和X2独立地选自由氢原子、取代和未取代的烷基以及取代和未取代的芳基组成的组,R1‑R10独立地选自由氢原子、卤素原子、取代和未取代的烷基、取代和未取代的烃氧基以及取代和未取代的芳基组成的组,X1和X2可结合在一起以形成环。
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