[发明专利]用于将材料提纯的设备

摘要

本发明涉及一种用于将材料提纯的设备(10)，该设备(10)包括坩埚(32，36，38；132)的组合件(30)。各个坩埚包括用来容纳处于熔融态的材料的腔室和用于从所述腔室中排放处于熔融态的所述材料的排放导管。所述组合件至少包括第一坩埚、第二坩埚和第三坩埚，所述第一坩埚至少部分地处于所述第二坩埚正上方，所述第一坩埚的所述排放导管通入所述第二坩埚，并且，所述第二坩埚至少部分地处于所述第三坩埚正上方，所述第二坩埚的所述排放导管通入所述第三坩埚。所述设备还包括环绕各个坩埚的至少一部分的加热系统(40)，和用于回收由所述组合件的坩埚之一的所述排放导管所供给的处于熔融态的所述材料的系统(58)。

主权项

一种用于将材料提纯的设备(10；120)，包括外壳(12)，所述外壳(12)具有在低于或等于100Pa的压力下的气氛；且包括：‑至少部分地沿着堆叠方向(D)堆叠的坩埚(32，36，38；132)的组合件(30)，各个坩埚包括用来容纳处于熔融态的材料的腔室(82)和用于将处于熔融态的所述材料排出所述腔室的导管(84)，所述组合件至少包括第一坩埚、第二坩埚和第三坩埚，所述第一坩埚至少部分地处于所述第二坩埚的正上方，所述第一坩埚的排放导管进入所述第二坩埚，并且，所述第二坩埚至少部分地处于所述第三坩埚的正上方，所述第二坩埚的排放导管进入所述第三坩埚；所述第一坩埚覆盖所述第二坩埚的至少75％，且所述第二坩埚覆盖所述第三坩埚的至少75％；‑至少部分地环绕各个坩埚的加热系统(40)；‑系统(58)，所述系统(58)用于回收由所述组合件的坩埚之一的所述排放导管所提供的处于熔融态的所述材料；‑与所述坩埚的组合件邻接的通气道(106)，各个坩埚的所述腔室与所述通气道连通；‑与所述通气道连接的真空泵(70)。