[发明专利]用于测量电容性元件之间的电容差的方法和系统

摘要

用于测量电容差的方法和系统。第一和第二电容性元件连接在用于接收第一和第二DC电压的电压接收节点与可经由第一或第二开关连接到第三DC电压的节点之间。在第一阶段，施加电压差以对电容性元件充电，并且这些开关交替地闭合。第一所得电流被测量出。在第二阶段，交替地施加第一和第二DC电压，并且这些开关交替地闭合。第二所得电流被测量出。电容差可根据第一和第二所得电流来确定。

主权项

一种用于测量第一电容性元件(DUT1)与第二电容性元件(DUT2)之间的电容差(ΔC)的方法，所述方法包括以下步骤：提供第一DC电压(Vhigh)、不同于所述第一DC电压的第二DC电压(Vlow)、以及第三DC电压(GND)；提供测量电路，包括：第一开关(T1)和与所述第一开关(T1)匹配的第二开关(T2)；第一节点(N1)和第二节点(N2)，其间能连接所述第一电容性元件(DUT1)，所述第二节点(N2)能经由所述第一开关(T1)连接到所述第三DC电压(GND)；第三节点(N3)和第四节点(N4)，其间能连接所述第二电容性元件(DUT2)，所述第四节点(N4)能经由所述第二开关(T2)连接到所述第三DC电压(GND)，并且所述第二和第四节点(N2、N4)彼此连接；将所述第一电容性元件(DUT1)连接在所述第一节点(N1)与所述第二节点(N2)之间；将所述第二电容性元件(DUT2)连接在所述第三节点(N3)与所述第四节点(N4)之间；在第一阶段：‑将所述第一DC电压(Vhigh)施加于所述第一节点(N1)并且将所述第二DC电压(Vlow)施加于所述第三节点(N3)，以对所述电容性元件(DUT1、DUT2)充电；‑通过非重叠时钟信号(Vset1、Vset2)交替地闭合所述第一和第二开关(T1、T2)，并且测量流经所述第一和第二开关(T1、T2)中的至少一者的第一所得电流(I1、I2)；在第二阶段：‑将所述第一和第二DC电压(Vhigh、Vlow)交替地施加于所述第一和第三节点(N1、N3)，以交替地对所述电容性元件(DUT1、DUT2)充电和放电；‑通过所述非重叠时钟信号(Vset1、Vset2)交替地闭合所述第一和第二开关(T1、T2)，在这样的实例中，所述第一和第二DC电压(Vhigh、Vlow)的所述交替在所述第一开关或所述第二开关闭合时发生，并且测量流经所述第一和第二开关(T1、T2)中的至少一者的第二所得电流(I1、I2)；根据分别在所述第一阶段和所述第二阶段期间测量出的所述第一和第二所得电流(I1、I2)的相减，确定所述电容差(ΔC)。