[发明专利]用于测量表面不均匀度的传感器在审
| 申请号： | 201280063616.2 | 申请日： | 2012-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN104797906A | 公开（公告）日： | 2015-07-22 |
| 发明（设计）人： | 乔轶;杰克·W·莱;埃文·J·瑞博尼克;大卫·L·霍费尔特 | 申请（专利权）人： | 3M创新有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/30 | 分类号： | G01B11/30;G01N21/86 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 梁晓广;关兆辉 |
| 地址： | 美国明*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供了一种方法，所述方法包括：在表面的所选择样本区域上形成二维询问光束；用透镜阵列收集透射通过所述样本区域或者从所述样本区域反射的光，以形成焦点的样本阵列；通过成像透镜使所述焦点的样本阵列在传感器上成像；将所述焦点的样本阵列的图像与焦点的基准阵列进行比较，以确定所述样本区域中的不均匀度的水平。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 测量 表面 不均匀 传感器 | ||
【主权项】：
一种方法，包括：在表面的所选择样本区域上形成二维询问光束；用透镜阵列收集透射通过所述样本区域或者从所述样本区域反射的光，以形成焦点的样本阵列；通过成像透镜使所述焦点的样本阵列在传感器上成像；以及将所述焦点的样本阵列的图像与焦点的基准阵列进行比较，以确定所述样本区域中的不均匀度的水平。
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