[发明专利]直接液体淀积

摘要

在贮存器中提供了涂层物质和溶剂的液体前体材料。在一个变型中，液体前体材料被蒸馏，所得的液体涂层物质被汽化并且通过蒸气分配喷嘴组件(7)喷射到真空容器(3)中且喷射到待涂布的基底(5)上。备选地，液体前体材料被直接汽化。从两组分蒸气，涂层物质蒸气被施加到待涂布的基底(5')。在该变型中，溶剂蒸气和涂层物质蒸气的分离尤其在汽化下游进行。蒸气分配喷嘴组件具有在凹陷的蒸气分配元件(470)的顶点处的蒸气输入(474)和将蒸气导向至凹部(472)的壁(478)的单个表面偏转元件(476)。

主权项

一种制造带涂层的基底的方法，包括：a)在真空容器中提供蒸气分配喷嘴组件，所述喷嘴组件包括喷射开口组件；b)在所述真空容器中提供至少一个基底的基底组件；c)最晚在所述基底组件设置在所述真空容器中时抽空所述真空容器；d)蒸馏包含溶于溶剂中的涂层物质的液体前体材料，以便回收所述涂层物质；e)将所述涂层物质直接进料到汽化并且以热的方式使所回收的涂层物质的一部分作为预定部分汽化；f)将所汽化的涂层物质的至少一部分通过所述喷射开口组件喷射到所述真空容器中，从而在所述基底组件上建立所述涂层物质的涂层；g)在所述涂布之后从所述真空容器移除所述基底组件。