[发明专利]用于非平衡三氯氢硅制备的方法和系统无效
申请号: | 201280065610.9 | 申请日: | 2012-11-10 |
公开(公告)号: | CN104039699A | 公开(公告)日: | 2014-09-10 |
发明(设计)人: | 马克·威廉·达塞尔 | 申请(专利权)人: | 森特瑟姆光伏美国有限公司 |
主分类号: | C01B33/107 | 分类号: | C01B33/107;B01J23/26;B01J23/755;B01J6/00 |
代理公司: | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人: | 王达佐;阴亮 |
地址: | 美国华*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 将四氯化硅(STC)转化为三氯氢硅(TCS)的催化方法,该方法在诸如500℃的低温下使用了诸如金属硅化物的金属催化剂,其中使STC与氢气在催化剂存在下且在非热平衡的条件下反应,以提供包括超过在热平衡下所获得的TCS水平的TCS并且任选包括HCl和未反应的STC的产物气体流。 | ||
搜索关键词: | 用于 平衡 三氯氢硅 制备 方法 系统 | ||
【主权项】:
将四氯化硅(STC)转化为三氯氢硅(TCS)的方法,包括在转化器中在非平衡操作条件下使包含STC和H2的原料气与催化剂接触以提供超平衡水平的STC向TCS的转化率。
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