[发明专利]用于光伏电池制造的晶圆分级和分类

摘要

本发明公开了方法和系统，该方法和系统用于对诸如可用于制造光伏电池的硅晶圆等半导体材料的样本进行分析，用于为该样本分配级别并可选地将它们分类到质量库中。对样本进行基于光致发光的分析和至少一种基于非光致发光的分析，并对数据进行处理，以获得关于一个或多个特性的信息。然后，基于该一个或多个特性对样本进行分级并可选地分类。在优选的实施方案中，级别表示有待由样本制造的光伏电池的性能。

主权项

一种对用于制造光伏电池的半导体材料的多个样本进行分级的方法，所述方法包括：(a)对每个样本进行基于光致发光的分析，包括从所述材料产生并成像光致发光；(b)对每个样本进行一种或多种基于非光致发光的分析；(c)处理从所述基于光致发光的分析和所述一种或多种基于非光致发光的分析中获得的数据，以获得所述样本的一个或多个特性的信息；以及(d)基于所述一个或多个特性，将所述样本分为预设数量的级别。