[发明专利]具备真空容器的带电粒子线照射装置有效
| 申请号： | 201280066028.4 | 申请日： | 2012-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN104040677B | 公开（公告）日： | 2016-10-12 |
| 发明（设计）人： | 金子朝子;高须久幸;武藤宏史 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | H01J37/305 | 分类号： | H01J37/305;H01J37/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 刘婷 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的目的在于提供利用比较简单的结构来实现试料或试料台的冷却的带电粒子线照射装置。作为达到上述目的的一方案，带电粒子线照射装置具备带电粒子源、试料台、及具有传递用于使该试料台移动的驱动力的传递机构的驱动机构，其中，该带电粒子线照射装置具有配置于真空室内且能收容离子液体(12)的容器，该容器设置于在收容有所述离子液体(12)时使所述传递机构的至少一部分浸渍于离子液体(12)中的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 具备 真空 容器 带电 粒子 照射 装置 | ||
【主权项】：
一种带电粒子线照射装置，其特征在于，具有：放出带电粒子线的带电粒子源；用于载置由所述带电粒子线照射的试料的试料台；将来自动力源的动力向所述试料台传递的机械要素；用于容纳所述试料台及所述机械要素的真空室，在所述真空室内设有收容离子液体的容器，所述机械要素的至少一部分处于浸渍于所述离子液体中的状态，处于浸渍于所述离子液体中的状态的所述机械要素为齿轮、齿条、链轮、齿轮的轴、球形万向节、或者滚珠丝杠。
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