[发明专利]印刷基板的复合检查装置

摘要

本发明的复合检查装置包括在X射线摄像机(50)与X射线照射单元(160)之间面临检查对象部的光学摄像装置(300)，且设有使X射线照射单元(160)和X射线摄像机(50)在近拍位置与非近拍位置之间相对位移以便变更X射线图像的倍率的倍率变更装置(155)。该倍率变更装置(155)在近拍位置时，从X射线照射单元(160)到达X射线摄像机(50)的X射线的到达路径作为近拍用而较短。在非近拍位置时，上述到达路径长于在近拍位置时的距离。在X射线照射单元和X射线摄像机的至少任一者需要朝近拍位置移动时，事先使光学摄像装置(300)退避，以便X射线照射单元与X射线摄像机能够相对地朝近拍位置移动。

主权项

一种印刷基板的复合检查装置，其特征在于包括：基板台，设置安装有多个电子元件的印刷基板；光学摄像装置，拍摄设置在所述基板台上的所述印刷基板的检查对象部的光学图像；X射线照射单元，对所述检查对象部照射X射线；X射线摄像机，基于透射过所述印刷基板的X射线，拍摄所述检查对象部的X射线图像；倍率变更装置，使所述X射线照射单元和所述X射线摄像机在近拍位置与非近拍位置之间相对地位移，以变更所述X射线图像的倍率，所述近拍位置是从所述X射线照射单元到达所述X射线摄像机的X射线的到达路径为近拍用的第一距离的位置，所述非近拍位置是所述到达路径长于所述第一距离的位置；驱动装置，使所述光学摄像装置在摄像位置与退避位置之间移动，所述摄像位置是所述光学摄像装置在所述X射线照射单元与所述X射线摄像机之间面临所述检查对象部的位置，所述退避位置是所述光学摄像装置从所述摄像位置退避以便所述X射线照射单元与所述X射线摄像机能够相对地朝所述近拍位置移动的位置；摄像位置控制装置，在所述X射线照射单元或所述X射线摄像机的至少一者需要移动时，控制所述驱动装置以便所述光学摄像装置事先退避到所述退避位置；台驱动机构，使所述基板台在与该基板台平行的平面上移动，以便所述检查对象部能够被处于所述退避位置的光学摄像装置拍摄；台移动控制装置，控制所述台驱动机构以便所述光学摄像装置在退避到所述退避位置时在该退避位置拍摄所述检查对象部，所述驱动装置包括：引导框架，将搬运作为检查对象的印刷基板的方向作为X轴方向而沿所述X轴方向延伸；一对导轨，在所述引导框架的背面沿铅垂方向隔开间隔地设置且分别沿着所述X轴方向平行地延伸；滑块，连结于所述导轨且能够沿所述X轴方向移动地受到支撑；滚珠丝杠机构，设置在所述滑块与所述引导框架之间，所述滑块能够沿所述X轴方向往复移动地受到引导，并且所述滑块在所述滑块的行程范围内受到引导，以使所述光学摄像装置能够在所述摄像位置与所述退避位置之间移动，所述摄像位置是当所述X射线照射单元处于非近拍位置时使所述光学摄像装置面临所述X射线照射单元的正下方的位置，所述退避位置是使所述光学摄像装置从所述摄像位置沿所述X轴方向退避的位置，在所述X射线摄像机执行了所述近拍位置的摄像之后，当需要外观检查时，所述台移动控制装置使所述台驱动机构驱动以移动所述基板台，使保持在所述基板台上的所述印刷基板的所述检查对象部移动至退避到所述退避位置的所述光学摄像装置的正下方，由所述光学摄像装置执行所述外观检查。