[发明专利]用于补偿抖动的微机电系统装置和设备有效
| 申请号： | 201280068442.9 | 申请日： | 2012-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN104203805B | 公开（公告）日： | 2016-11-23 |
| 发明（设计）人： | 朴昡圭;文承焕;李钟泫 | 申请（专利权）人： | LG伊诺特有限公司;光州科学技术院 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;G03B5/00;G02B27/64;G02B7/04 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王萍;李春晖 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 公开了一种用于补偿抖动的微机电系统(MEMS)装置及设备。该MEMS装置包括：衬底；相对于衬底移动的从动构件；连接至从动构件和衬底的弹性构件；固定到衬底的用于驱动从动构件的驱动构件；以及固定到衬底并闩锁至从动构件的动态制动器。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 补偿 抖动 微机 系统 装置 设备 | ||
【主权项】：
一种MEMS装置，包括：衬底；相对于所述衬底移动的从动构件；连接至所述从动构件和所述衬底的弹性构件；固定到所述衬底以用于驱动所述从动构件的驱动构件；固定到所述衬底并且闩锁至所述从动构件的动态制动器；以及涂覆在所述动态制动器的整个表面上的绝缘层，其中所述从动构件包括闩槽，以及其中所述动态制动器和所述绝缘层被插入到所述闩槽中，以在没有通过所述驱动构件驱动所述从动构件时固定所述从动构件。
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