[发明专利]透明基板外观缺陷的分析设备

摘要

一种对相对于设备（1）进给的至少部分透明的一个或多个基板（2）进行分析的设备（1），其包括：·照明系统（4，6），其能够在所述或每个基板（2）旨在进给穿过的分离照明区中同时产生不同类型的照明；·矩阵相机（12），其能够获取由所述一个或多个基板（2）透射和/或反射的多行像素的图像并且能够同时获取分别对应于所述分离区的像素的相邻行的多个群组的图像；·操纵单元（14），其包括存储器（15），在所述存储器上存储了操纵程序，所述程序能够操纵相机（12）以用于以所述一个或多个基板（2）的进给速度来对不同获取进行同步。

主权项

1.一种对相对于设备（1）进给的至少部分透明的一个或多个基板（2）的光学质量进行分析的设备（1），其包括：·照明系统（4，6），用于通过透射穿过基板（2）和/或通过反射在基板（2）上而形成图像；·一个相机（12），用于获取由所述一个或多个基板（2）所透射和/或反射的图像；·操纵单元（14），其包括存储器（15），在所述存储器上存储了对通过相机（12）获取图像进行操纵的程序，其中·所述照明系统（4，6）能够在所述基板（2）或每个基板（2）旨在进给穿过的分离照明区（8A，8B，8C，10A，10B，10C）中同时产生不同类型的照明，其中所述分离照明区（8A，8B，8C，10A，10B，10C）中至少一个具有其中长/宽比>10的细长轮廓；·所述相机（12）是矩阵型的并且能够获取多行像素的图像，所述设备（1）被配置以使得所述相机（12）能够同时获取分别对应于所述分离区（8A，8B，8C，10A，10B，10C）的像素的相邻行的多个群组的图像，·所述操纵程序能够操纵所述相机（12）以用于以所述一个或多个基板（2）的进给速度来对不同的获取进行同步，以使得所述基板（2）的至少一个相同固定点在像素行的所述群组中第一个中和至少在不同于所述第一个的第二群组中构成图像获取的对象。