[发明专利]集成有运动传感器的纳米探针N/MEMS装置、方法和应用有效
| 申请号： | 201280068948.X | 申请日： | 2012-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN104105655A | 公开（公告）日： | 2014-10-15 |
| 发明（设计）人： | A·拉尔;K·阿姆庞萨 | 申请（专利权）人： | 康奈尔大学 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81C1/00;B81B7/00;G01N37/00;G01B21/30;G01Q70/00 |
| 代理公司： | 北京万慧达知识产权代理有限公司 11111 | 代理人： | 戈晓美;杨颖 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请公开了一种多尖端纳米探针装置，和一种在使用多尖纳米探针装置的同时用于探测样品的方法，其均使用位于衬底上的：(1)相对于衬底的不可移动的探针尖端；(2)相对于衬底的可移动的探针尖端；以及(3)与可移动的探针尖端耦接的运动传感器。由于运动传感器与可移动的探针尖端的紧密耦接以及可移动探针尖端相对于不可移动探针尖端的可缩进性，这种多尖端纳米探针装置和相关方法提供了改进的样品探测。 | ||
| 搜索关键词： | 集成 运动 传感器 纳米 探针 mems 装置 方法 应用 | ||
【主权项】：
一种探针装置，包括：衬底；位于所述衬底上方的至少一个可移动的探针尖端，所述至少一个可移动的探针尖端能够相对于所述衬底移动；以及位于所述衬底上方的至少一个运动传感器，所述至少一个运动传感器包括与至少一个弹簧可操作地耦接的至少一个压敏部件，所述至少一个运动传感器与所述至少一个可移动的探针尖端相耦接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于康奈尔大学，未经康奈尔大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201280068948.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
