[发明专利]编码器、编码器用标尺制造方法、编码器制造方法及驱动装置有效
申请号: | 201280069186.5 | 申请日: | 2012-12-27 |
公开(公告)号: | CN104094087A | 公开(公告)日: | 2014-10-08 |
发明(设计)人: | 引地新太郎;杉山英明 | 申请(专利权)人: | 株式会社尼康 |
主分类号: | G01D5/347 | 分类号: | G01D5/347 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 朱龙 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 编码器具有:标尺部,具有由金属材料构成的基材,在所述基材的第一面上形成有图案,并且在所述基材中的与所述第一面不同的第二面上形成有非动态部;检测部,与所述标尺部相对地移动并检测所述图案。 | ||
搜索关键词: | 编码器 编码 器用 标尺 制造 方法 驱动 装置 | ||
【主权项】:
一种编码器,其特征在于,具有:标尺部,该标尺部具有由金属材料构成的基材,在所述基材的第一面上形成有图案,并且在所述基材中的与所述第一面不同的第二面上形成有非动态部;检测部,该检测部与所述标尺部相对地移动,检测所述图案。
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