[发明专利]臭氧生成系统

摘要

本发明的目的在于提供一种能够抑制副产品的产生且低成本的臭氧生成系统。在本发明中，具备对臭氧产生装置(1)输出原料气体的气体流量调整装置(7)。气体流量调整装置(7)具备多个流量调整部(71、72、73、75)，并将由从第一氧流量调整器(71)输出的氧气和从混合气体流量调整器(75)输出的第一混合气体构成的第二混合气体作为原料气体而对臭氧产生装置(1)输出。在此，在气体流量调整装置(7)中生成的原料气体由氧气和氮气构成，氮相对于氧气的添加率比0ppm大且为100ppm以下。

主权项

一种臭氧生成系统，其特征在于，具备：氧供给口(2)；氮供给口(3)；臭氧产生装置(1、300)，其从流入的原料气体产生臭氧；以及气体流量调整装置(7)，其使从所述氧供给口供给的氧及从所述氮供给口供给的氮流入，对所述氧及所述氮的流量进行调整，并将该调整后的所述氧及所述氮作为所述原料气体而对所述臭氧产生装置输出，所述气体流量调整装置具备：第一氧流量调整器部(71)，其与所述氧供给口连接，对从所述氧供给口供给的所述氧的流量进行调整；第二氧流量调整部(72)，其与所述氧供给口连接，对从所述氧供给口供给的所述氧的流量进行调整；氮流量调整部(73、731)，其与所述氮供给口连接，对从所述氮供给口供给的所述氮的流量进行调整；以及混合气体流量调整部(75、751)，其对第一混合气体的流量进行调整，该第一混合气体由从所述第二氧流量调整部输出的所述氧和从所述氮流量调整部输出的所述氮构成，所述气体流量调整装置将第二混合气体作为所述原料气体而对所述臭氧产生装置输出，该第二混合气体由从所述第一氧流量调整器输出的所述氧和从所述混合气体流量调整器输出的所述第一混合气体构成，所述气体流量调整装置通过利用所述第一氧流量调整器部、所述第二氧流量调整部、所述氮流量调整部及所述混合气体流量调整部，从而生成所述氮相对于所述氧的添加率设定成比0ppm大且为100ppm以下的范围的所述第二混合气体。