[发明专利]可互换磁体组无效
| 申请号： | 201280069500.X | 申请日： | 2012-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN104603325A | 公开（公告）日： | 2015-05-06 |
| 发明（设计）人： | T·H·胡;W·S·卡瑟拉 | 申请（专利权）人： | 希捷科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 何焜 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种溅射装置包括模板，该模板具有单元。可移除的插入物被设置在单元内。单元可以是圆形、三角形、正方形、菱形或六角形的。可移除的插入物可以是磁性或非磁性插入物。盖与模板的第一侧连接。轭与模板的第二侧连接。可移除的插入物用于定制靶上的磁场或调整靶上的磁场的形状。轭可用于为磁场提供返回路径。 | ||
| 搜索关键词： | 互换 磁体 | ||
【主权项】：
一种装置，包括：包含多个单元的模板；设置在所述多个单元内的多个可移除插入物；可移除地与所述模板的第一侧连接的盖；以及可移除地与所述模板的第二侧连接的轭。
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