[发明专利]裸片安装系统的晶片图管理装置以及裸片安装方法有效
申请号: | 201280071970.X | 申请日: | 2012-04-27 |
公开(公告)号: | CN104205289B | 公开(公告)日: | 2017-03-29 |
发明(设计)人: | 保坂英希;岩濑友则;柘植邦明;小见山延久 | 申请(专利权)人: | 富士机械制造株式会社 |
主分类号: | H01L21/02 | 分类号: | H01L21/02;H01L21/66 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司11219 | 代理人: | 穆德骏,谢丽娜 |
地址: | 日本爱知*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 参照晶片图而从晶片依次拾取合格裸片并安装在基板上,并且将晶片图中的已拾取的裸片位置的状态从“合格裸片”改写成“已拾取”,另一方面,将发生了图像处理错误或拾取错误的裸片位置的状态改写成“图像处理错误”或“拾取错误”。在裸片拾取装置上搭载晶片图修正功能,作业者在裸片拾取装置的显示装置的画面上将晶片图中的被改写成“图像处理错误”或“拾取错误”的裸片位置的状态修正为“合格裸片”,参照修正后的晶片图,再次执行因图像处理错误或拾取错误而剩下的裸片的拾取。 | ||
搜索关键词: | 安装 系统 晶片 管理 装置 以及 方法 | ||
【主权项】:
一种裸片安装系统的晶片图管理装置,在所述裸片安装系统的存储机构中存储表示以分割为多个裸片的方式被切割的晶片的各位置的裸片是否合格的晶片图,在裸片安装工序中参照所述晶片图,从所述晶片依次拾取合格裸片并安装在基板上,并且,每当拾取合格裸片时,将所述晶片图中的已拾取的裸片位置的状态从“合格裸片”改写成“已拾取”,另一方面,将发生了图像处理错误或拾取错误的裸片位置的状态从“合格裸片”改写成“图像处理错误”或“拾取错误”,所述裸片安装系统的晶片图管理装置的特征在于,在所述裸片安装系统中设有晶片图修正机构,该晶片图修正机构将所述晶片图中的被改写成“图像处理错误”或“拾取错误”的裸片位置的状态修正为“合格裸片”。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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