[发明专利]膜厚测量装置和成膜装置有效
| 申请号： | 201280073820.2 | 申请日： | 2012-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN104395690B | 公开（公告）日： | 2017-05-31 |
| 发明（设计）人： | 佐井旭阳;日向阳平;大泷芳幸;姜友松 | 申请（专利权）人： | 株式会社新柯隆 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司11127 | 代理人： | 李辉,黄纶伟 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供能够高精度地测量光学膜厚的膜厚测量装置。膜厚测量装置(6)具备通过照射侧光纤(f1)向监视基板(Sm)照射光的投光器(11)、通过受光侧光纤(f2)接收从投光器(11)照射后由监视基板(Sm)反射的光的受光装置(22)、和捆扎多个照射侧光纤(f1)和多个受光侧光纤(f2)而形成的光学传感器用探头(13)，其中，在光学传感器用探头(13)的与监视基板(Sm)对置的末端面上分别配置有多个照射侧光纤(f1)的端面和多个受光侧光纤(f2)的端面，照射侧光纤(f1)的各个端面以与受光侧光纤(f2)的端面相邻的状态呈圆弧状或圆环状排列，并且，受光侧光纤(f2)的各个端面以与照射侧光纤(f1)的各个端面相邻的状态呈圆弧状或圆环状排列。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种膜厚测量装置，其特征在于，所述膜厚测量装置具备：照射装置，为了测量形成于被测量用基板的膜的光学膜厚，所述照射装置通过由光纤构成的照射侧光纤向所述被测量用基板照射光；受光装置，为了测量所述光学膜厚，所述受光装置通过由光纤构成的受光侧光纤接收从所述照射装置照射后由所述被测量用基板反射的光；和探头，所述探头是捆扎多个所述照射侧光纤和多个所述受光侧光纤而形成的，该探头在与所述被测量用基板对置的一侧所具备的作为端面的对置面上，分别配置有多个所述照射侧光纤的端面和多个所述受光侧光纤的端面，在所述对置面上，配置有多个的所述照射侧光纤的各个端面以都与至少一个所述受光侧光纤的端面相邻的状态排列成圆弧状或圆环状，并且，配置有多个的所述受光侧光纤的各个端面以都与至少一个所述照射侧光纤的各个端面相邻的状态排列成圆弧状或圆环状，所述照射侧光纤的端面所构成的列和所述受光侧光纤的端面所构成的列以构成彼此反向的螺旋的方式排列，在所述对置面和所述被测量用基板之间没有设置光学部件，所述探头以所述对置面与所述被测量用基板的、位于与形成所述膜的一侧相反的一侧的非成膜面对置。
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