[发明专利]电力变换用开关元件以及电力变换装置

摘要

电力变换用开关元件(100)在n-型的半导体基板(1)的表面侧依次反复配置第1栅极电极(6)、具有n型发射极区域(3)的p型沟道层(2)、第2栅极电极(13)、p型浮空层(15)。并且，将夹着p型沟道层(2)的2个栅极(6、13)的间隔a构成得小于夹着p型浮空层(15)的2个栅极(13、6)的间隔b，对第1栅极电极(6)、第2栅极电极(13)分别提供在驱动定时有时间差的驱动信号。

主权项

一种电力变换用开关元件，其特征在于，具备：第1导电型的半导体层，其形成在半导体基板；第2导电型的沟道层，其与所述第1导电型的半导体层相接，形成在所述半导体基板的第1表面侧；栅极电极的组，其由第1栅极电极以及第2栅极电极构成，该第1栅极电极以及第2栅极电极，按照隔着栅极绝缘膜与所述半导体层以及所述沟道层相接的方式，在所述半导体基板的所述第1表面侧设置在贯穿所述沟道层而形成的多个沟槽的相互相邻的每2个沟槽的各自中；第1导电型的发射极区域，其按照隔着所述栅极绝缘膜与所述第1栅极电极以及所述第2栅极电极各自相接的方式，形成在被夹在属于所述栅极电极的组的同一组的所述第1栅极电极以及所述第2栅极电极间的所述沟道层的表面的一部分；发射极电极，其将所述第1导电型的发射极区域以及所述第2导电型的沟道层电连接；第2导电型的浮空层，其被属于所述栅极电极的组的互不相同的组、且相互相邻的2个栅极电极所夹，是与所述发射极电极绝缘的所述沟道层；第2导电型的集电极层，其与所述第1导电型的半导体层相接，形成在所述半导体基板的第2表面侧；和集电极电极，其与所述第2导电型的集电极层电连接，将属于所述同一组的所述第1栅极电极与所述第2栅极电极的间隔设为a，将属于所述互不相同的组、且相互相邻的2个栅极电极彼此的间隔为b，满足b＞a地配置各个栅极电极，并且，对所述第1栅极电极以及所述第2栅极电极分别提供在驱动定时有时间差的第1驱动信号以及第2驱动信号。