[发明专利]微阀装置及控制流体流动的方法

摘要

一种微阀装置及控制流体流动的方法。微阀装置包括微阀本体，该微阀本体由多层构成，并且包括第一层(1)以及与第一层(1)结合的第二层(2)，第二层(2)具有多个流体端口(7，8，9)；腔室(6)，设置在第一层和第二层之间；多个执行器(3，4，5)，分别对应每个流体端口设置，其中多个流体端口(7，8，9)的开闭由多个执行器独立地(3，4，5)控制。控制流体的方法包括采用多个执行器分别对多个流体端口的开闭独立地进行控制。

主权项

一种控制流体流动的微阀装置，包括：微阀本体，该微阀本体由多层构成，并且包括第一层以及与所述第一层结合并具有多个流体端口的第二层；腔室，设置在所述第一层和所述第二层之间；多个执行器，分别对应于每个流体端口设置，其中所述多个流体端口的开闭由所述多个执行器独立地控制，所述多个流体端口包括流体源端口、控制端口和回流端口，当所述流体源端口和所述控制端口打开、所述回流端口关闭时，流体从流体源端口流向控制端口；而所述流体源端口关闭、所述控制端口和所述回流端口打开时，流体从控制端口流向回流端口。