[发明专利]包括空间光调制器的光谱仪有效
申请号: | 201280074734.3 | 申请日: | 2012-07-16 |
公开(公告)号: | CN104704332B | 公开(公告)日: | 2017-08-15 |
发明(设计)人: | 哈坎·韦德尔斯柏克 | 申请(专利权)人: | 福斯分析有限公司 |
主分类号: | G01J3/04 | 分类号: | G01J3/04;G01J3/02 |
代理公司: | 北京安信方达知识产权代理有限公司11262 | 代理人: | 陆建萍,郑霞 |
地址: | 瑞典赫*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种光谱仪(20),该光谱仪包括一个用于光辐射的输入端(24);一个用于按照波长使从该输入端(24)传递的入射光辐射色散的色散元件,如凹面聚焦反射衍射光栅(22);一个输出端(28)和一个空间光调制器“SLM”(26),该输出端和该空间光调制器被安置成用于接收该色散元件所色散的一个输入光辐射波长区域并且可操作用于选择性地引导所接收到的波长区域的多个波长部分以便在该输出端(28)处进行接收。该输入端(24)被配置成用于提供多个入射场光阑,如入射狭缝(C,D),通过这些入射场光阑中的每一个在使用时照亮该色散元件(22)并且这些入射场光阑中的每一个被定位成用于与该色散元件(22)合作以在该SLM(26)处生成一个不同色散波长区域。 | ||
搜索关键词: | 包括 空间 调制器 光谱仪 | ||
【主权项】:
一种光谱仪(2;20;30;40),该光谱仪包括:一个用于光辐射的输入端(4;24;36;44);一个用于按照波长使从该输入端(4;24;36;44)传递的光辐射色散的色散元件(6;22;32;42);一个输出端(16;28;38;52)和一个空间光调制器SLM(12;26;34;50),该输出端和该空间光调制器被安置成用于接收该色散元件(6;22;32;42)所色散的一个输入光辐射波长区域作为相关波长区域(Δλ)并且可操作用于选择性地引导该相关波长区域(Δλ)的多个波长部分以便在该输出端(16;28;38;52)处进行接收;其特征在于,该输入端(4;24;36;44)被配置成用于提供多个入射场光阑(C,D;C’,D’;E,F),通过这些入射场光阑中的每一个,在使用时照亮该色散元件(6;22;32;42),并且这些入射场光阑中的每一个被定位成与该色散元件(6;22;32;42)合作以在该SLM(12;26;34;50)上生成一个不同色散波长区域,该SLM(12;26;34;50)上的不同色散波长区域一起提供大于该SLM(12;26;34;50)上的不同色散波长区域中的任一个的该相关波长区域(Δλ)。
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