[发明专利]用以涂布溅镀材料层于基板上的装置及沉积系统有效
| 申请号： | 201280075041.6 | 申请日： | 2012-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN104704603B | 公开（公告）日： | 2017-07-28 |
| 发明（设计）人： | A·克勒佩尔;M·哈尼卡;E·谢尔;K·施沃恩特兹;F·皮耶拉利西;J·刘 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01J37/34 | 分类号： | H01J37/34;C23C14/35 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司31100 | 代理人： | 徐伟 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明描述了一种用以涂布溅镀材料层于基板(12)上的装置(10；166；224)。所述装置(10；166；224)包括至少两个磁铁组件(60、74、82、90、98、106)，其中每个磁铁组件(60、74、82、90、98、106)具有外磁极性及内磁极性。所述至少两个磁铁组件(60、74、82、90、98、106)中的一者的外磁极性不同于所述至少两个磁铁组件(60、74、82、90、98、106)中的另一者的相邻的外磁极性。并且，本发明描述了一种沉积系统(14)，所述沉积系统包括所述装置(10；166；224)。 | ||
| 搜索关键词： | 用以 涂布溅镀 材料 基板上 装置 沉积 系统 | ||
【主权项】：
一种用以涂布溅镀材料层于基板(12)上的装置(10；166；224)，所述装置(10；166；224)包括：至少两个磁铁组件(60、74、82、90、98、106)，其中每个磁铁组件(60、74、82、90、98、106)具有外磁极性(64、68、76、78、84、86、92、94、100、102、108、110)及内磁极性(66、80、88、96、104、112)；其中所述至少两个磁铁组件(60、74、82、90、98、106)中的一者的所述外磁极性不同于所述至少两个磁铁组件(60、74、82、90、98、106)中的另一者的相邻的外磁极性，其中所述磁铁组件(60、74、82、90、98、106)对应于二或更多个阴极(16、18、20、22、24、26)，且其中两个相邻阴极(16、18、20、22、24、26)之间的距离(246)是使得所述两个相邻阴极(16、18、20、22、24、26)彼此互相作用的距离，其中两个相邻阴极之间的所述距离小于500mm，且其中所述装置配置为用于静态沉积。
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