[发明专利]用于测量测量对象的测量装置、设备及方法有效
| 申请号： | 201280075165.4 | 申请日： | 2012-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN104520669B | 公开（公告）日： | 2018-02-13 |
| 发明（设计）人： | P.韦斯特法尔;T.恩格尔 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司工业测量技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/25 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所11105 | 代理人： | 邱军 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种测量测量对象的测量单元，包含照明单元，用于以照明图案照明测量对象；图案产生装置，具有至少一个图案产生元件，用于造成照明图案的依赖于位置的强度分布；以及光学传感器布置，用于采集由测量对象反射和/或散射的照明图案。另外，测量单元还具有至少在测量对象侧为远心的光学系统，光学系统布置在从照明装置到测量对象的光束路径中，其中，光学传感器布置布置为使得其通过远心光学系统的至少一部分采集照明图案，以及其中具有至少一个图案产生元件的图案产生单元设计为使得照明图案在测量对象侧具有依赖于位置和/或依赖于光谱的后焦距分布。另外，本发明涉及一种包含这种测量单元的装置以及用于测量测量对象的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 测量 对象 装置 设备 方法 | ||
【主权项】：
一种用于测量测量对象(12)的测量装置(10)，包含：照明装置(14)，用于以照明图案(46)照明所述测量对象(12)；图案产生装置(16)，具有至少一个图案产生元件(36，38；42)，用于造成所述照明图案(46)的位置上变化的强度分布；以及光学传感器布置(18)，用于检测由所述测量对象(12)反射和/或散射的照明图案(46)，其特征在于，所述测量装置(10)还具有光学系统(44)，其至少在测量对象侧是远心的且布置在从所述照明装置(14)到所述测量对象(12)的光束路径(24)中，其中，所述光学传感器布置(18)布置为使得其通过远心光学系统(44)的至少一部分检测所述照明图案(46)，并且其中具有所述至少一个图案产生元件(36，38；42)的所述图案产生装置(16)设计为使得所述照明图案(46)在所述测量对象侧具有位置上和/或光谱上变化的顶焦距分布(52，54，56)。
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