[发明专利]ALD反应器中的衬底装载

摘要

本发明涉及一种仪器和方法，所述仪器和方法用于将多个衬底装载到沉积反应器的装载室中的衬底支架内以在所述衬底支架内形成水平定向的衬底的垂直堆叠，用于转动衬底支架以形成垂直定向的衬底的水平堆叠，和用于将所述衬底支架下降至所述沉积反应器的反应室内用于沉积。获得的技术效果是：用于垂直流沉积反应器的顶部装载系统，其中衬底可以以水平定向装载，通过翻转整个衬底支架而消除了分别翻转每一个衬底的必要，和最小化了反应器集群中的装载距离。

主权项

一种方法，其包括：将多个衬底装载到沉积反应器的装载室中的衬底支架内，以在所述衬底支架内形成水平定向的衬底的垂直堆叠；和转动所述衬底支架以形成垂直定向的衬底的水平堆叠，并且将所述衬底支架下降至所述沉积反应器的反应室内用于沉积。