[发明专利]一种高光生酸量子产率硫鎓盐类光生酸剂、制备方法及其应用无效
申请号: | 201310000490.0 | 申请日: | 2013-01-04 |
公开(公告)号: | CN103012227A | 公开(公告)日: | 2013-04-03 |
发明(设计)人: | 金明;洪烘;谢健超;浦鸿汀;万德成 | 申请(专利权)人: | 同济大学 |
主分类号: | C07C381/12 | 分类号: | C07C381/12;G03F7/004 |
代理公司: | 上海正旦专利代理有限公司 31200 | 代理人: | 张磊 |
地址: | 200092 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明涉及一种高光生酸量子产率硫鎓盐类光生酸剂、制备方法及其应用。本发明提出的光生酸剂化合物,其中:R1为甲基、苄基、五氟代苯基或4-氰基苄基;R2为三氟甲烷磺酸根、六氟磷酸根、六氟锑酸根或四氟硼酸根。本发明的PAG适用于诸如365nm、385nm、405nm,425nm的紫外区到近可见光区成像的光刻胶光活性成分。此类光生酸剂合成步骤简单,易于提纯,产率高,在365nm~425nm区域内,此类光生酸剂用于光刻胶体系能制备出性能优良的光刻胶,体现出0.3~0.6的光生酸量子产率,光激发效率高,催化活性高。 | ||
搜索关键词: | 一种 高光生酸 量子 产率硫鎓 盐类 光生酸剂 制备 方法 及其 应用 | ||
【主权项】:
1.一种高光生酸量子产率硫鎓盐类光生酸剂,其特征在于所述光生酸剂的结构式如下:其中R1为甲基、苄基、五氟代苯基或4-氰基苄基中任一种;R2-为反离子。
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