[发明专利]用于连续地沉积薄膜的设备有效
| 申请号： | 201310001946.5 | 申请日： | 2013-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN103194728A | 公开（公告）日： | 2013-07-10 |
| 发明（设计）人： | 李亨培;郑基泽;赵晃新;尹成勋 | 申请（专利权）人： | SNU精密股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/24;C23C14/12 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 党晓林;王小东 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 公开了一种用于连续地沉积薄膜的设备，所述设备包括：材料存储单元；材料预热单元；材料传送单元；材料蒸发单元；以及坩埚传送单元。所述材料存储单元存储有机材料。所述材料预热单元将填充有所述有机材料的坩埚预热至比所述有机材料的蒸发点低的温度。所述材料传送单元从所述材料存储单元接收预定量的有机材料，并且将所述有机材料传送到放置于所述材料预热单元中的所述坩埚中。所述材料蒸发单元向所述坩埚供应热量并且蒸发填充在所述坩埚中的所述有机材料。所述坩埚传送单元将由所述材料预热单元预热的所述坩埚运入所述材料蒸发单元中或者将耗尽所述有机材料的所述坩埚运出所述材料蒸发单元。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 连续 沉积 薄膜 设备 | ||
【主权项】：
一种用于连续地沉积薄膜的设备，所述设备包括：材料存储单元，所述材料存储单元存储有机材料；材料预热单元，所述材料预热单元将填充有所述有机材料的坩埚预热至比所述有机材料的蒸发点低的温度；材料传送单元，所述材料传送单元从所述材料存储单元接收预定量的有机材料，并且将所述有机材料传送到放置在所述材料预热单元中的所述坩埚；材料蒸发单元，所述材料蒸发单元向所述坩埚供应热量并且蒸发填充在所述坩埚中的所述有机材料；以及坩埚传送单元，所述坩埚传送单元将由所述材料预热单元预热的所述坩埚运入所述材料蒸发单元中或者将耗尽所述有机材料的所述坩埚运出所述材料蒸发单元。
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