[发明专利]微纳尺度材料赛贝克系数的测量机构及其制备方法

摘要

本发明提供一种微纳尺度材料赛贝克系数的测量机构，衬底上设有释放阻挡带，释放阻挡带内封闭有热隔离腔体；热隔离腔体的正上方设有一对热电偶，第一热偶条和第二热偶条的材料特性不同；热隔离腔体的上方一侧设置有第一加热电阻条，上方另一侧设置有第二加热电阻条；第一加热电阻条的电阻值小于第二加热电阻条的电阻值；第一加热电阻条的两端分别连接第二金属电极和第三金属电极；第二加热电阻条的两端分别连接第四金属电极和第五金属电极。第一金属电极位于第一加热电阻条之上，第一金属电极连接第一热偶条和第二热偶条的一端。第一热偶条和第二热偶条的另一端分别连接第六金属电极和第七金属电极。本发明用于测量微纳尺度材料赛贝克系数。

主权项

一种微纳尺度材料赛贝克系数的测量机构，包括衬底(101)，其特征在于：所述衬底(101)上设有释放阻挡带(302)，所述释放阻挡带(302)内封闭有热隔离腔体(901)；所述热隔离腔体(901)的正上方设有一对热电偶，即第一热偶条(8)和第二热偶条(9)，第一热偶条(8)和第二热偶条(9)的材料特性不同；热隔离腔体(901)的上方一侧设置有第一加热电阻条(10)，上方另一侧设置有第二加热电阻条(11)；第一加热电阻条(10)的电阻值小于第二加热电阻条(11)的电阻值；所述第一加热电阻条(10)的两端分别连接第二金属电极(2)和第三金属电极(3)；所述第二加热电阻条(11)的两端分别连接第四金属电极(4)和第五金属电极(5)；第一金属电极(1)位于第一加热电阻条(10)之上，且通过释放保护膜(501)和电绝缘热导通结构(601)实现与第一加热电阻条(10)的电学隔离和热学导通；所述第一金属电极(1)连接第一热偶条(8)的一端和第二热偶条(9)的一端；第一热偶条(8)的另一端和第二热偶条(9)的另一端分别连接第六金属电极(6)和第七金属电极(7)；所述第六金属电极(6)和第七金属电极(7)位于第二加热电阻条(11)之上，且通过释放保护膜(501)和电绝缘热导通结构(601)实现与第二加热电阻条(11)的电学隔离和热学导通。