[发明专利]涂布装置有效
申请号: | 201310003715.8 | 申请日: | 2013-01-06 |
公开(公告)号: | CN103301991A | 公开(公告)日: | 2013-09-18 |
发明(设计)人: | 村岸勇夫;土田修三;参川茂;堀川晃宏;山本章博 | 申请(专利权)人: | 松下电器产业株式会社 |
主分类号: | B05C5/00 | 分类号: | B05C5/00;B05C13/02;B05C11/02 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 刘佳 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明的涂布装置通过使用多个卡盘(110)对杆(109)进行保持,并与各卡盘(110)对应地设置加压元件,就能局部地使用加压元件一边对各卡盘(110)的加压载荷进行调节一边进行加压,因此,能容易地将涂液高精度且均匀地涂布在有翘曲及凹凸的基板上。 | ||
搜索关键词: | 装置 | ||
【主权项】:
一种涂布装置,其特征在于,包括:涂布元件,该涂布元件将涂布液供给至基板;涂料器,该涂料器配置在所述基板的涂布表面上,并将所述涂布液拨开;多个保持加压元件,这些保持加压元件在所述涂料器的长边方向上以规定的间隔设置,并对所述涂料器进行保持;以及升降元件,该升降元件与多个所述保持加压元件连接,并通过所述保持加压元件将所述涂料器朝重力方向加压。
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