[发明专利]超高纯一氟甲烷的制备方法无效
| 申请号： | 201310004972.3 | 申请日： | 2013-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN103910600A | 公开（公告）日： | 2014-07-09 |
| 发明（设计）人： | 李盛姬;柳彩波;刘武灿 | 申请（专利权）人： | 中化蓝天集团有限公司;浙江蓝天环保高科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C07C19/08 | 分类号： | C07C19/08;C07C17/389 |
| 代理公司： | 浙江杭州金通专利事务所有限公司 33100 | 代理人： | 刘晓春 |
| 地址： | 310051 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种吸附法制备超高纯一氟甲烷的方法，采用A型分子筛和/或粒径为1.5～3.0mm的活性炭脱除一氟甲烷粗品中的杂质，所述A型分子筛和活性炭在使用前经活化处理。本发明提供的制备方法，可获得99.999%甚至99.9999%以上的高纯一氟甲烷，制备的超高纯一氟甲烷可用作半导体/电子工业的刻蚀气体。 | ||
| 搜索关键词： | 超高 纯一 甲烷 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种超高纯一氟甲烷的制备方法，其特征在于采用A型分子筛和/或粒径为1.5～3.0mm的活性炭脱除一氟甲烷粗品中的杂质，所述A型分子筛和活性炭在使用前经活化处理，活化温度为120～300℃，活化时间为2～3小时。
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