[发明专利]一种叠层透明导电氧化物薄膜、其制法和应用有效
申请号: | 201310005521.1 | 申请日: | 2013-01-07 |
公开(公告)号: | CN103909692B | 公开(公告)日: | 2017-02-08 |
发明(设计)人: | 汤洋;陈颉 | 申请(专利权)人: | 神华集团有限责任公司;北京低碳清洁能源研究所 |
主分类号: | B32B9/04 | 分类号: | B32B9/04;B32B33/00;B82Y30/00 |
代理公司: | 北京市中咨律师事务所11247 | 代理人: | 彭飞,林柏楠 |
地址: | 100011 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明涉及一种叠层透明导电氧化物薄膜,其包括一层透明导电氧化物基底层、以及从基底层上生长的一层单晶氧化物纳米结构阵列层,所述单晶氧化物纳米结构排布成紧密的阵列。在所述单晶氧化物纳米结构阵列层之上还可任选地存在一层顶层,所述顶层的材料可以为透明导电氧化物、石墨烯、掺杂石墨烯、金属纳米线。 | ||
搜索关键词: | 一种 透明 导电 氧化物 薄膜 制法 应用 | ||
【主权项】:
一种叠层透明导电氧化物薄膜,其包括一层透明导电氧化物基底层、以及从基底层上生长的一层单晶氧化物纳米结构阵列层,其特征在于,所述单晶氧化物纳米结构排布成紧密的阵列,并且在所述单晶氧化物纳米结构阵列层之上还存在顶层。
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