[发明专利]遮罩无效
| 申请号： | 201310005827.7 | 申请日： | 2013-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN103911585A | 公开（公告）日： | 2014-07-09 |
| 发明（设计）人： | 李仲仁;赵勤孝;郦唯诚 | 申请（专利权）人： | 旭晖应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 韩嫚嫚 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明是关于一种遮罩，其包含有一具有多个镀膜区位孔的遮罩板体，该遮罩板体于其沉积材迎接侧形成粗糙化沉积材附着表面。由此，应用于蒸镀或溅镀等镀膜沉积制程中，遮罩设置于沉积材料源与基材之间，可使解离的部分沉积材原子或分子通过遮罩的镀膜区位孔而沉积于基材表面形成镀膜，被遮罩阻隔的沉积材原子或分子则能附着于粗糙化沉积材附着表面，并通过粗糙化沉积材附着表面的粗糙化表面提升沉积材料附着的结合力，使附着于粗糙化沉积材附着表面上的沉积材料不易因剥离而污染镀膜，确保基材镀膜沉积制程的良好品质。 | ||
| 搜索关键词： | 遮罩 | ||
【主权项】：
一种遮罩，其特征在于，其包含一遮罩板体，该遮罩板体中形成多个镀膜区位孔，该遮罩板体包含有一沉积材迎接侧，该沉积材迎接侧形成一粗糙化沉积材附着表面。
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