[发明专利]一种硅铝合金/硅/锆/硅极紫外多层膜反射镜及其制备方法有效
| 申请号： | 201310006877.7 | 申请日： | 2013-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN103076644A | 公开（公告）日： | 2013-05-01 |
| 发明（设计）人： | 张众;钟奇;王占山 | 申请（专利权）人： | 同济大学 |
| 主分类号： | G02B5/08 | 分类号： | G02B5/08;G02B1/10;C23C14/35;C23C14/54 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 吴林松 |
| 地址： | 200092 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明属于精密光学元件制作技术领域，涉及一种极紫外多层膜反射镜及其制备方法。该反射镜包括基底和硅铝合金/硅/锆/硅周期多层膜，其中硅铝合金/硅/锆/硅周期多层膜是硅铝合金薄膜层、硅薄膜层、锆薄膜层和硅薄膜层交替沉积于基底表面上。本发明与现有的铝基多层膜相比，通过在硅铝合金/锆膜层之间引入纳米厚度的硅薄膜层，抑制了硅铝合金与锆膜层之间的相互扩散，改善了多层膜的界面，有效提升了反射镜的反射率。本发明提出的这种新型的硅铝/硅/锆/硅极紫外多层膜反射镜具有成膜质量好、光学性能满足需求等优势，适用于对能谱分辨率和反射率要求均很高的极紫外光学系统。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 铝合金 紫外 多层 反射 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种极紫外多层膜反射镜，该反射镜包括基底和沉积于基底表面上的由若干个周期构成的硅铝合金/硅/锆/硅多层膜，所述的每个周期硅铝合金/硅/锆/硅多层膜是由硅铝合金薄膜层、硅薄膜层、锆薄膜层和硅薄膜层依次交替沉积而成。
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