[发明专利]一种芯片分选设备顶针装置有效
申请号: | 201310007480.X | 申请日: | 2013-01-09 |
公开(公告)号: | CN103077918A | 公开(公告)日: | 2013-05-01 |
发明(设计)人: | 朱国文;吴涛;龚时华;朱文凯;贺松平;李斌;吴磊;宋宪振;黄惠 | 申请(专利权)人: | 广东志成华科光电设备有限公司 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687 |
代理公司: | 东莞市华南专利商标事务所有限公司 44215 | 代理人: | 雷利平 |
地址: | 523808 广东省东莞市松*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种芯片分选设备顶针装置,包括顶针套筒、顶针轴和安装座,可升降的顶针轴设置于顶针套筒内,顶针轴顶端固定有顶针,顶针轴与一驱动顶针轴作上下运动的顶针轴驱动装置连接,顶针套筒上设置有供顶针穿出的顶针孔,顶针轴外侧还套设有用于调整顶针套筒位置的调整座,顶针套筒固接于调整座,调整座固接于安装座。本顶针装置通过调整调整座的位置,带动顶针套筒移动,可调节顶针与顶针孔的轴线基本同轴,使得芯片排列精度得到大幅提升;更换顶针方便快捷,更换顶针时只需拆下顶针套筒进行更换,更换后通过镜头调整调整座的位置带动顶针套筒移动,观察调整顶针与顶针套筒供顶针穿出的顶针孔,使其同轴即可。 | ||
搜索关键词: | 一种 芯片 分选 设备 顶针 装置 | ||
【主权项】:
一种芯片分选设备顶针装置,其特征在于:包括顶针套筒、顶针轴和安装座,所述可升降的顶针轴设置于所述顶针套筒内,所述顶针轴顶端固定有顶针,所述顶针轴与一驱动所述顶针轴作上下运动的顶针轴驱动装置连接,所述顶针套筒上设置有供所述顶针穿出的顶针孔,其特征在于:所述顶针轴外侧还套设有用于调整顶针套筒位置的调整座,所述顶针套筒固接于所述调整座,所述调整座固接于所述安装座。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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