[发明专利]聚酰亚胺溶液涂布方法及装置有效

专利信息
申请号: 201310007617.1 申请日: 2013-01-09
公开(公告)号: CN103048832A 公开(公告)日: 2013-04-17
发明(设计)人: 刘明 申请(专利权)人: 深圳市华星光电技术有限公司
主分类号: G02F1/1337 分类号: G02F1/1337;B05C9/14;B05C13/02;B05D7/00
代理公司: 深圳市顺天达专利商标代理有限公司 44217 代理人: 蔡晓红;林俭良
地址: 518132 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明实施例公开了一种聚酰亚胺溶液涂布方法及装置,该方法包括:将玻璃基板置于支撑面上,使所述玻璃基板与所述支撑面形成面接触;通过所述支撑面给所述玻璃基板加热,使所述玻璃基板达到预设涂布温度;在所述玻璃基板上涂布所述聚酰亚胺溶液。通过在涂布前给玻璃基板加热,可以加快涂布时聚酰亚胺溶液扩散和溶剂蒸发的速度,有利于控制温度的均匀性和一致性,避免产生云状斑点;通过将玻璃基板与支撑板面接触,有利于更充分地加热,而且可以避免玻璃基板与支撑脚点接触时导致的受热不均匀,防止产生脚状斑点。
搜索关键词: 聚酰亚胺 溶液 方法 装置
【主权项】:
一种聚酰亚胺溶液涂布方法,其特征在于,包括:将玻璃基板置于支撑面上,使所述玻璃基板与所述支撑面形成面接触;通过所述支撑面给所述玻璃基板加热,使所述玻璃基板达到预设涂布温度;在所述玻璃基板上涂布所述聚酰亚胺溶液。
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