[发明专利]喷嘴清洁装置和具有该喷嘴清洁装置的涂布机有效
申请号: | 201310008969.9 | 申请日: | 2013-01-10 |
公开(公告)号: | CN103041943A | 公开(公告)日: | 2013-04-17 |
发明(设计)人: | 张岳妍;黄文德;朱厚毅 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | B05B15/02 | 分类号: | B05B15/02;B05C5/02;B05C11/00 |
代理公司: | 深圳市顺天达专利商标代理有限公司 44217 | 代理人: | 蔡晓红;林俭良 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开一种喷嘴清洁装置和具有该喷嘴清洁装置的涂布机,用于清洁一涂布机喷嘴(101),该喷嘴清洁装置包括清洁器(402)、抽真空管道(403)与真空泵(404),该清洁器(402)具有一形状与该涂布机喷嘴(101)相吻合的凹孔(4021),供该涂布机喷嘴(101)容纳于该凹孔(4021)中,该凹孔(4021)的内壁开设有多个通孔(4022);该抽真空管道(403)的一端与该多个通孔(4022)连接,该抽真空管道(403)的另一端接入该真空泵(404)。通过本发明提供的喷嘴清洁装置可方便地去除残留的光刻胶以清洁喷嘴,有效地提高产品的成品率以及生产效率,且无需使用昂贵的纳米材料,成本低廉。 | ||
搜索关键词: | 喷嘴 清洁 装置 具有 涂布机 | ||
【主权项】:
一种喷嘴清洁装置,用于清洁一涂布机喷嘴(101),其特征在于,该喷嘴清洁装置包括清洁器(402)、抽真空管道(403)与真空泵(404),该清洁器(402)具有一形状与该涂布机喷嘴(101)相吻合的凹孔(4021),供该涂布机喷嘴(101)容纳于该凹孔(4021)中,该凹孔(4021)的内壁开设有多个通孔(4022);该抽真空管道(403)的一端与该多个通孔(4022)连接,该抽真空管道(403)的另一端接入该真空泵(404)。
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