[发明专利]常压下低温等离子体密度参数的诊别方法

摘要

常压下低温等离子体密度参数的诊别方法，属于等离子体领域，本发明为解决现有等离子体诊断方法在其测量过程中精确度低、效率差、对环境要求较高、使用寿命短、成本相对昂贵等一系列问题。本发明方法包括以下步骤：步骤一、用电压互感器检测放电通道内气体压降Ug(t)；步骤二、用电流互感器检测为传导电流jc(x，t)；步骤三、根据步骤一获取的放电通道内气体压降Ug(t)和传导电流jc(x，t)获取总的放电电流jT；步骤四、根据步骤三获取的总的放电电流jT获取等离子体密度n(t)；步骤五、获取离散化等离子体密度nm+1(t)，以实现对等离子体密度参数的诊别。

主权项

常压下低温等离子体密度参数的诊别方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：步骤一、用电压互感器检测放电通道内气体压降Ug(t)步骤二、用电流互感器检测放电过程中的传导电流jc(x，t)，x＝0～dg，式中：dg为放电通道长度，x为放电通道中某一位置的坐标，步骤三、根据步骤一获取的放电通道内气体压降Ug(t)和传导电流jc(x，t)，利用公式 j T ( t ) = ( 2 d B ϵ 0 ϵ B + d g ϵ 0 ) - 1 [ ∫ 0 d g j c ( x , t ) ϵ 0 dx + ∂ U g ( t ) ∂ t ] 获取总的放电电流jT，式中：ε0为真空介电常数，εB为等离子体的相对介电常数，dB为所电极表面所覆盖介质厚度，步骤四、根据步骤三获取的总的放电电流jT，利用公式 n ( t ) = ej T ( t ) = e ( 2 d B ϵ 0 ϵ B + d g ϵ 0 ) - 1 [ ∫ 0 d j c ( x , t ) ϵ 0 dx + ∂ U a ( t ) ∂ t ] 获取等离子体密度n(t)，步骤五、获取离散化等离子体密度nm+1(t)，以实现对等离子体密度参数的诊别。