[发明专利]多晶硅铸锭装置和铸锭方法有效
| 申请号： | 201310011153.1 | 申请日： | 2013-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN103014853A | 公开（公告）日： | 2013-04-03 |
| 发明（设计）人： | 姜磊;荣丹丹;吕景记;魏文秀;于波 | 申请（专利权）人： | 天津英利新能源有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 魏晓波 |
| 地址： | 301510 天津市滨海新区津汉公*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多晶硅铸锭装置和铸锭方法，公开的铸锭装置包括容纳硅料的坩埚，其特征在于，还包括所述硅料熔化成硅液后向所述硅液中输送氩气的送气管，以及驱动所述送气管的出气端进出所述硅液的动力装置，所述送气管的进气端设于所述坩埚的外部，所述动力装置的动力输出端与所述送气管的出气端固定连接。在硅液中通入氩气，可以加速硅液中的杂质与硅液分离，使硅料中含有的杂质在分子运动的时候快速与硅液脱离，到达硅液表面并挥发出去，带走硅液中的杂质，从而增加杂质的挥发量，减少硅锭中的杂质含量，提高硅锭的质量。同时，向硅液中输送氩气是在硅料熔化成硅液后进行的，在硅液长晶过程前结束，此过程不会增长现有铸锭时间，不会影响现有铸锭工序，便于实现。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 铸锭 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种多晶硅铸锭装置，包括容纳硅料的坩埚，其特征在于，还包括所述硅料熔化成硅液后向所述硅液中输送氩气的送气管，以及驱动所述送气管的出气端进出所述硅液的动力装置，所述送气管的进气端设于所述坩埚的外部，所述动力装置的动力输出端与所述送气管的出气端固定连接。
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