[发明专利]一种蚀刻液组合物在审
| 申请号： | 201310011820.6 | 申请日： | 2013-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN103924243A | 公开（公告）日： | 2014-07-16 |
| 发明（设计）人： | 李水峰;苏双峰;季冬晨;刘翘楚 | 申请（专利权）人： | 上海飞凯光电材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/14 | 分类号： | C23F1/14;C23F1/18;C23F1/34 |
| 代理公司： | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人： | 刘映东 |
| 地址： | 201206 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种蚀刻液组合物，属于蚀刻领域。所述蚀刻液组合物包括0.5-10%的过硫酸盐、0.5-30%的铵盐及60-99%的水，以上均为重量百分比。本发明通过以过硫酸盐为氧化剂，由于过硫酸盐与铵盐的合理搭配，使蚀刻液能够长期储存，而且在使用过程中蚀刻速率不会由于时间的变化而存在较大差异，因此蚀刻液的生产和使用效率高，适合大规模生产和使用，利于蚀刻液的工业化生产；由于体系中不含有强酸，在蚀刻液蚀刻铜或铜合金时，基本不腐蚀铜或铜合金以外的其他金属，实现有选择性的蚀刻；在酸性和碱性条件下都能使用，适用范围广。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蚀刻 组合 | ||
【主权项】：
一种蚀刻液组合物，包括0.5‑10%的过硫酸盐、0.5‑30%的铵盐及60‑99%的水，以上均为重量百分比。
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