[发明专利]干涉滤波器、光学模块以及电子设备有效
申请号: | 201310012209.5 | 申请日: | 2013-01-11 |
公开(公告)号: | CN103217732B | 公开(公告)日: | 2018-01-02 |
发明(设计)人: | 新东晋;北原浩司;松下友纪 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | G02B5/28 | 分类号: | G02B5/28;G01N21/25;G01J3/28 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司11240 | 代理人: | 余刚,吴孟秋 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种干涉滤波器、光学模块以及电子设备。上述干涉滤波器包括隔着间隙相互面对的第一反射膜和第二反射膜。第一反射膜和第二反射膜包括Ag‑Sm‑Cu合金膜或Ag‑Bi‑Nd合金膜,其中,按原子数计,Ag‑Sm‑Cu合金膜含有0.1%以上0.5%以下的Sm,含有0.1%以上0.5%以下的Cu,且Sm以及Cu的合计为1.0%以下,Ag‑Bi‑Nd合金膜含有0.1%以上3.0%以下的Bi,含有0.1%以上5.0%以下的Nd,上述Ag‑Sm‑Cu合金膜或Ag‑Bi‑Nd合金膜的厚度为10nm以上40nm以下。 | ||
搜索关键词: | 干涉 滤波器 光学 模块 以及 电子设备 | ||
【主权项】:
一种干涉滤波器,其特征在于,所述干涉滤波器具备隔着间隙相互面对的两个反射膜,其中,所述反射膜包括:含有银Ag、钐Sm以及铜Cu的Ag‑Sm‑Cu合金膜,按原子数计,所述Ag‑Sm‑Cu合金膜含有0.1%以上0.5%以下的Sm,含有0.1%以上0.5%以下的Cu,且Sm以及Cu的合计为1.0%以下,所述Ag‑Sm‑Cu合金膜的厚度为10nm以上且小于30nm,所述反射膜为所述Ag‑Sm‑Cu合金膜的单层膜。
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