[发明专利]一种高品质因子的单端对声表面波谐振器

摘要

本发明涉及一种高品质因子的单端对声表面波谐振器，包括一块压电基片（22）、置于压电基片（22）表面的一个叉指换能器（24），和分布在叉指换能器（24）两侧的第一反射器（23）和第二反射器（25）；所述的第一反射器（23）和第二反射器（25）与叉指换能器（24）之间的边缘间距均为0.625λ，λ为声波波长。所述的叉指换能器（24）采用布莱克曼窗函数切指加权结构。所述的叉指换能器（24）、第一反射器（23）和第二反射器（25）均采用铝材料电极，电极占空比为1.3～1.5。所述的叉指换能器（24）、第一反射器（23）和第二反射器（25）的铝电极膜厚为1.1%～1.5%λ。本发明获得单端对SAW谐振器的小体积、高Q值和较小带外波动等特性。

主权项

一种高品质因子的单端对声表面波谐振器，所述的单端对声表面波谐振器(21)包括一块压电基片(22)、置于压电基片(22)表面的一个叉指换能器(24)，和分布在叉指换能器(24)两侧的第一反射器(23)和第二反射器(25)；其特征在于：所述的第一反射器(23)和第二反射器(25)与叉指换能器(24)之间的边缘间距均为0.625λ，λ为声波波长；所述的叉指换能器(24)采用布莱克曼窗函数切指加权结构；所述的第一反射器(23)和第二反射器(25)均采用短路栅结构；所述的叉指换能器(24)、第一反射器(23)和第二反射器(25)均采用铝材料电极，电极占空比为1.3～1.5。